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洁净厂房是我国的耗能大户之一。据不完好统计,洁净室的能耗是普通写字楼的10~3o倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类型工厂高15%(美国耗能1.28kw/m2~2.63kw/m2,而耗能1.48kw/m2~1.93kw/m2)。以上海某名芯片厂为例,其全年耗电量的51%是用于洁净室运转及相关的维护,假设将这51%的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长。

车间内除精密(precise)设备外,其他空调系统、动力系统等设备和工艺附属设备都已联机调试或进行试运转时,对精密设备安装位置的环境振动测试。调查了解该位置的环境振动是否满足精密设备的振动安装条件要求,为精密设备是否进一步采取隔振措施(指针对问题的解决办法)提供依据。精密设备安装完毕,无尘净化工程造价,进行试生产时,终对整个生产线验证。用以---产品的---性。环境振动的物理量,蒙自无尘净化工程,应根据精密设备对物理量的要求相应确定,不外乎是振动加速度、振动速度及振动位移,一般情况下,对采集得到的数据(data)需进行时域及频域分析。

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