?洁净度5级 ?洁净度100级
?环境空气中大于等于0.5μm的微粒数大于350
粒/m3(0.35粒/l)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/l);大于等于5μm的微粒
数为0粒/l
?洁净度6级 环境空气中大于等于0.5μm 的微粒数大于3500粒
/m3(3.5粒/l)到小于等于35200粒/m 3(35.2粒/l);大于等于5μm的微粒
数小于等于293 粒/m3(0.3 粒/l)
?洁净度1000级大于等于0.5μm的尘粒数
大 于3500粒/m3(3.5粒/l)到小于等于35000粒/m3(35粒/l);大于等于5
μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/l)
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